中微公司收购众硅电子结构湿法工艺补齐前道制

　　中微半导体设备（上海）股份无限公司（688012。SH）收购杭州众硅电子科技无限公司64。69%股权的并购项目，近日正式获得中国证监会注册批复。并购完成后，中微公司将成为国内少数同时笼盖干法刻蚀取湿法抛光两大工艺环节的半导体设备平台。杭州众硅是国内少少数控制12英寸高端化学机械抛光（CMP）设备焦点手艺并实现量产的企业，已向国内主要半导体系体例制厂商供货。中微公司由被称为“中国刻蚀机之父”的尹志尧开办。尹志尧60岁时从海外归国创业，彼时“签字，不许带任件”，完全从零起步。中微公司正在干法刻蚀设备市场取泛林半导体、使用材料等国际巨头同处第一梯队，刻蚀和薄膜堆积设备已进入台积电5纳米、3纳米先辈制程供应链。据尹志尧正在央视财经《对话》栏目中披露，中微公司已有800个反映台进入国际最先辈出产线。尹志尧初创的甚高频去耦合反映离子刻蚀手艺，已被全球三大设备公司采用，目前100%的CCP刻蚀机都基于这一手艺线。

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